干式螺桿真空泵開始在20世紀80年代，最初應用與半導體行業，90年代初期開始應用于化學行業。
它的主要特點如下：

1、對工藝氣體無污染

2、沒有廢水產生

3、沒有真空油消耗，不產生油煙排放

4、能夠回收被抽介質，冷凝回收各種溶劑

5、能達到更高的真空度

6、維護量及費用低

應用工藝：

1.電工：變壓器、互感器、環氧樹脂真空澆注、電容器真空浸油、真空壓力浸漬。

2.工業爐：真空釬焊、真空燒結、真空退火、真空加壓氣淬、真空脫羥等。

3.真空鍍膜：真空蒸發鍍膜、真空磁控濺射鍍膜、薄膜卷繞連續鍍膜、離子鍍等。

4.冶金：特種鋼冶煉、真空感應爐、真空脫硫、脫氣。

5.航空、航天：航天搭載飛船軌道艙、返回艙、火箭姿態調整艙、宇航服、宇航員太空出艙、飛機升空等真空模似試驗。

6.干燥：變壓法真空干燥、煤油氣箱干燥、木材干燥、蔬菜冷凍干燥。

7.化工、制藥：產品蒸餾、干燥、脫氣、物料輸送等。